Air Floating System :
圧縮空気を利用して浮上,移送する非接触移送装置である。
Air Floating System核心技術
· 多孔質セラミック素材:Orifice對比, 均一な圧力で均一である必須)
· 帯電防止機能:静電氣による不良防止
· 強度向上:強度80MPa以上の多孔質材料
FPD Device Air Floating System
Porous Air Floating System
Air Floatingの特長
· 表面ストレッチ予防
· Mura Defect 予防
Figure2. <a>Cluster Mura; <b>Vertical Band Mura
<c>Rubbing Mura; <d>Light Leak Mura
Example of Mura Defect
Porous Ceramic Floating System
Orifice Type Floating System
