FPD STAGE 1
作動 範圍 : Module46 "~ 57"(二重 Chuck Stage)
Guide: LM Guide
的用 Motor: Coreless type linear motor
controller : ACS & U-mac
應用 分野: Module 修理
主要 特徵
- 優れた速度安定性：スキャン動作
- 高剛性と安定したシステム
- 高度のメカニズムと制御を保証
- 効率的な空間活用
- 微振動のための防振設計
FPD STAGE 2
作業 領域 : 6 ~ 8 世代
Guide: LM Guide
的用 Motor: コア型リニアモータ
Controller : ACS & U-mac
應用 分野: 薄膜の厚さの検査と測定
主要 特徵
- 優れた速度安定性を保証: P to P
- 高剛性と安定したシステム
- 高度のメカニズムと制御を保証
- 効率的な空間活用
- 微振動のための防振設計
FPD STAGE 3
作業 領域 : 4 ~ 7.5 世代
Guide: LM Guide
的用 Motor: Coreless Type Linear Motor
Controller : ACS & U-mac
應用 分野: CVD 修理
主要 特徵
- 優れた速度安定性: Scan動作
- 高剛性と安定したシステム
- 高度のメカニズムと制御を保証
- 効率的な空間活用
- 微振動のための防振設計
FPD STAGE 4
作業 領域 : 4 ~ 7.5 世代
Guide: LM Guide
的用 Motor: Coreless Type Linear Motor
Controller : ACS & U-mac
應用 分野: CVD 修理
主料 特徵
- 優れた速度安定性: Scan 動作
- 高剛性と安定したシステム
- 高度のメカニズムと制御を保証
- 効率的な空間活用
- 微振動のための防振設計
